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作者：KevinHu，優(yōu)尼康科技有限公司技術(shù)工程師隨著5G大潮的到來(lái)，新一代的移動(dòng)通信產(chǎn)品大多具備高功率，耐高溫等特性，傳統(tǒng)原料中的硅(Si)無(wú)法克服在高溫、高壓、高頻中的損耗，逐漸被淘汰，跟不上時(shí)代的發(fā)展，無(wú)法滿(mǎn)足現(xiàn)代工藝的要求，這就使得碳化硅（SiC）新工藝在半導(dǎo)體行業(yè)嶄露頭角。目前SiC產(chǎn)品格局還處于三足鼎立的狀態(tài)，美國(guó)、歐洲、日本占據(jù)產(chǎn)值的八成，其中又以美國(guó)獨(dú)大，中國(guó)雖以即將進(jìn)入5G時(shí)代，但是半導(dǎo)體在SiC方面仍屬于發(fā)展初期，目前在基底、磊晶和零組件方面均有布局。為了...

光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。光學(xué)輪廓儀是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀(guān)形貌測(cè)量?jī)x器，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓...

今天主要講下，關(guān)于表面形貌的測(cè)量：通?？煞纸佑|式與非接觸式兩種，在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個(gè)方法具有互補(bǔ)性，并且各有不同，因此在實(shí)際應(yīng)用以及選擇機(jī)器的時(shí)候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢(xún)相關(guān)的技術(shù)工程師。本期主要說(shuō)下接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器：臺(tái)階儀臺(tái)階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種?；竟ぷ髟砣缦拢寒?dāng)臺(tái)階儀的觸針在被測(cè)的物體表面輕輕滑過(guò)時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會(huì)讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動(dòng)。因此表面輪廓的情況在一定程...

光學(xué)膜厚儀（SpectraThickseries）的特點(diǎn)是非接觸,非破壞方式測(cè)量，無(wú)需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。Filmetrics的光學(xué)膜厚儀使用的是白光干涉的原理，從而對(duì)樣品表面的膜層進(jìn)行測(cè)量，基本上所有光滑的、半透明的或者地吸收洗漱的薄膜都可以進(jìn)行測(cè)量。不管是打算測(cè)量薄膜厚度，還是光學(xué)常數(shù)，或者是打算知道材料的反射率和透過(guò)率，優(yōu)尼康科技有限公司提供的儀器都可以滿(mǎn)足你的需求，通過(guò)簡(jiǎn)單安裝，連接電腦，就可以很快測(cè)量出結(jié)果。這種產(chǎn)品主要應(yīng)用在，半導(dǎo)體行業(yè)...

在企業(yè)、廠(chǎng)商生產(chǎn)過(guò)程中，使用薄膜厚度測(cè)量?jī)x（膜厚儀）都應(yīng)該制定完善的操作規(guī)范制度，這樣才好幫助工作人員更好的進(jìn)行使用，并測(cè)量結(jié)果的性?，F(xiàn)階段，隨著在我們優(yōu)尼康購(gòu)買(mǎi)膜厚儀的廠(chǎng)家越來(lái)越多，應(yīng)用的場(chǎng)景和環(huán)境越來(lái)越廣泛，在使用過(guò)程中需要注意的一些基本事項(xiàng)，還有操作細(xì)節(jié)，需要大家高度關(guān)注。下面來(lái)簡(jiǎn)單看下膜厚儀在操作中需要注意的細(xì)節(jié)（僅供參考，具體問(wèn)題還是建議咨詢(xún)我們工程師）一、在當(dāng)下，這類(lèi)薄膜厚度檢測(cè)設(shè)備在很多領(lǐng)域當(dāng)中都發(fā)揮了十分關(guān)鍵的作用，比如工廠(chǎng)、生產(chǎn)加工、半導(dǎo)體行業(yè)等等，大家在檢...

自動(dòng)光譜橢偏儀光譜范圍覆蓋從深紫外到可見(jiàn)光再到近紅外.深紫外波長(zhǎng)非常適合測(cè)量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對(duì)于測(cè)量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。橢圓偏振技術(shù)是通過(guò)研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測(cè)量技術(shù)。與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi和Del并非在常見(jiàn)入射角下獲得。通過(guò)改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測(cè)量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏...